". EUV litografii pozwala nam na żetony o rozmiarach fabularnych, które są wystarczająco małe, aby wspierać taktowania 10 GHz. To nie musi się zdarzyć, " Don Sweeney, kierownik programu litografii EUV w Lawrence Livermore National Laboratory (LLNL), powiedział. " Pierwszą rzeczą, którą musisz zrobić, to do układów scalonych do 30 nanometrów i litografii EUV będzie wyraźnie zrobić ". Dla porównania, najmniejszy obwód, które mogą być tworzone przez litografii głęboko ultrafioletowego jest 100 nanometrów. Największa
W kwietniu 2001 roku, Spółka z ograniczoną odpowiedzialnością EUV (EUV LLC) zaprezentowała pierwszy pełnowymiarowy prototyp maszyny EUV litografii. EUV LLC jest konsorcjum składa się z niektórych z wiodących na świecie producentów chipów i trzy Departamentu Energii USA laboratoriach badawczych. Członkami są Intel, AMD, IBM, Micron, Infeneon i Motorola. Firmy te pracują z Narodowego Laboratorium Wirtualnego, składa się z Sandia National Laboratories, Lawrence Livermore National Laboratory i Lawrence Berkeley National Laboratory. Zaletą bycia członkiem tego konsorcjum jest o pierwszeństwo w użyciu tej nowej technologii Największa
Teraz zobaczmy jak EUVL działa Największa Proces EUVL Największa
Oto jak EUVL działa:..
- laser jest skierowany strumieniem ksenonem. Gdy laser uderza ksenonem, ogrzewa gaz w górę i tworzy plazmę. Największa
- Po utworzeniu plazmy, elektrony zaczynają się go wyłączyć i promieniuje światło na 13 nanometrów, co jest zbyt krótki ludzkie oko, aby zobaczyć. Największa
- Światło wędruje do skraplacza, który gromadzi się w świetle tak, że jest skierowana na maskę. Największa
- reprezentacja jednego poziomu układ komputerowy jest wzorzyste na lustrze Przy zastosowaniu absorbera do niektórych części zwierciadła, ale nie do innych. Tworzy maskę. Największa
- Wzór maskę jest widoczne na serię czterech do sześciu zakrzywionych luster, zmniejszając rozmiar obrazu i ogniskowanie obrazu na płytce krzemowej. Każde zwierciadło ugina światło nieznacznie, tworząc obraz, które będą przeniesione na płytki. To jest tak jak jak obiektywy do aparatu ugięcia światła, tworząc obraz na filmie.
Według Sweeney, cały proces opiera się na długości fali. Jeśli się długość fali skrócie, można uzyskać lepszy obraz